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离子溅射仪



厂家型号:离子溅射仪

 

仪器配置:

    1.轻便,建设面积大;2.靶材可按用户要求加工制作。

 

应用领域:

本仪器适用于扫描电子显微镜样品镀膜导电膜(金膜),仪器操作简单方便,是配合中小型扫描电子显微镜制样必备的仪器,同时广泛应用于电极的制作。离子溅射仪是一种镀膜装置,可用作扫描电镜、电子探针等仪器进行试样制备,制备金属、半导体和介电膜,制备高温超导薄膜,溅射非理想化学配比的氧化物。离子束溅射技术在光纤、计算机、通信、纳米技术、新材料、集成光学等领域发挥强大的作用。

物理领域:聚变反应堆的器壁保护、表面分析技术及薄膜制备、清洁固体表面、溅射淀积薄膜、制作微电子线路、加工光学器件、侵蚀金相样品及制作透射电子显微镜薄箔样品等。

化学领域:研究具有准确化学配比的多元化合物薄膜,沉积多成分薄膜可以使用不同材料制成块靶,通过调整不同靶的面积改变溅射成分原子通量和沉积标准成分含量的化合物薄膜。

生物领域:制备生物样品,不仅人的牙齿这类硬组织可以制作,软组织如红血球也可用离子侵蚀,用扫描电镜观察它的组织。在探讨细胞或其它软组织病变方面具有潜力,对生物大分子进行解吸质谱研究。

工业领域:表面加工、成形和抛光,加工玻璃、修整外形表面。机加工和表面修琢抛光,减少应力和散射。为电子显微镜和表面分析制备样品,石英晶体谐振器的调谐,高分辨率的蚀刻图形,制作声表面波器件,在集成光学上的应用。

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