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准分子激光器


厂家型号:Compex  205

技术参数:
    工作介质:KrF;激光波长:248 nm;单脉冲能量:80-600 mJ;最大重复频率:40 Hz ;能量稳定性:±4% 

应用领域:
    1.在科学研究方面,如:钻孔、标记表面处理、激光化学气相沉积、物理气相沉积、头与光学镜片和硅晶圆的清洁微机电系统相关的微制造技术。
    2.在半导体工业领域的应用,反应气体的光学处理和光刻,还可用于半导体材料的表面处理(退火、氧化和掺杂)。
    3.在化工方面, 合成维生素D、催化产生连锁反应;可用于原油加工, 如用甲烷制作乙烯等;可用于纯化、精制某些材料, 如用ArFKrF激光合成CO+H2气体。
    4.在医学领域,眼科方面主要用于屈光不正的治疗,如用PRKLASIKLASEK等方法进行屈光不正的治疗;在皮肤科方面,使用308nm准分子激光治疗白癜风、银屑病和过敏性皮炎;在心血管疾病中主要用于治疗冠心病、周围血管疾病、心脏瓣膜病、先天性心脏病和肥厚性心肌病等。

    5.在工业上主要应用在计算机芯片的制造以及塑料物质上蚀刻精确的图形。

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