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PLD中存在的问题


(1)不易于制备大面积的膜。

(2)在薄膜表面存在微米—亚米的颗粒物污染,所制备薄膜的均匀性较差。

(3)某些材料靶膜成分并不一致。对于多组元化合物薄膜,如果某些种阳离子具有较高的蒸汽压,则在高温下无法保证薄膜的等化学计量比生长。

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